运转中的旋片式真空泵，如果操作不当，往往会出现故障，譬如旋片式真空泵真空度下降，喷油、冒烟、油封处漏油，噪音等情况，和泵内的真空泵油乳化等现象。万一出现这种情况，首先不用恐慌，等停机以后根据故障一一排除。这里介绍几个排除故障的方法。　　一、旋片式真空泵冒烟和喷油：指旋片式真空泵在运转中排气口冒烟或者喷油。　　1、冒烟，如果是泵刚刚开始运转有冒烟的现象，属于正常，如果长时间在冒烟就是不正常了。解决之道：冒烟说明泵的进气口外，包括管道、阀门、容器有修理的情况。检漏以后处理了，冒烟会结束。涡街流量计　　2、喷油，说明进气口外有大量的漏点，甚至是进气口直接大气。解决之道：封住泵的进气口使泵运转，如果不喷油的话，说明有漏点;排气阀片损坏，检查排气阀片是否损坏，更换坏的排气阀片。（4）良好的抗腐蚀性与抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学变化，腐蚀泵内金属零件。　　二、旋片式真空泵噪音：这里指泵的噪音。　　1、敲缸，泵运转时发出不规律的响声，似金属敲打金属的声音。这是旋片在击打泵体发出的声音。这种情况主要是配对旋片间的弹簧断或者是收缩或弹出失效造成的。解决之道：打开泵检查旋片弹簧是否损坏。更换好的弹簧。　　2、排气阀片噪音，主要是泵的排气阀片破损。解决之道：更换好的排气阀片。　　三、旋片式真空泵真空度下降：指当下测得的旋片式真空泵真空度比出厂指标或者以前使用时的真空度低。引起真空度低的原因有很多，这里介绍几种主要的情况。　　1、这次加的旋片式真空泵油的牌号和原先的不一样。不同的真空泵油牌号，由于不同牌号油内的饱和蒸汽压不一样，所以其的结果是不一样的。解决之道：根据产品的型号规格更换正确的新真空泵油。　　2、另外也是由于真空泵油造成的真空度低的情况，就是真空泵油乳化变色，或者过脏。解决之道：放干净泵内的所有真空泵油，更换同类型的真空泵油，并解决被抽气体中水蒸气和杂质不进入泵内。　　3、被抽气体的温度可能过高。解决之道：降低被抽气体的温度，或可以加一个相应的换热器。　　4、泵内的油路不通或者不畅，泵腔内没有保持一定量的油量。解决之道：检查油路是否畅通，并加同类型的真空泵油。　　5、配合的间隙改大。这是长期被抽气体内含有粉尘等，造成旋片和定子之间磨损后的间隙增大。解决之道：检查间隙是否过大，更换新的零部件。

LEYBOLD OPTICS CCS 系列（50 至 160 对/8 小时）视客户要求而定，可使用 LEYBOLD OPTICS CCS 系列镀膜机生产一或若干层（减反射层、防晒或镜面层以及滤光片）。其出色的生产能力得益于短抽真空时间以及准确的工序监控，这些尤为该平台的亮点。防锈防腐蚀性：能在金属表面形成非常有效的防腐膜，从而可以防止因吸入腐蚀性气体和水分而导致的系统腐蚀。各种类型的 LEYBOLD OPTICS CCS 镀膜机证明了小尺寸和高生产力并非互为独占的。LEYBOLD OPTTIC CCS 系列包括生产解决方案，适用于中等产量的标准和离子辅助镀膜工艺。模块化设计，实现可持续发展的解决方案

电子枪容量、低温制冷系统的实施或腔室内疏水性镀膜功能相关的升级选件可在日后轻松添加至 LEYBOLD OPTICS CCS 的基本配置。因此，客户可随着其业务增长而选择扩建其系统。适用于广泛应用的灵活系统

LEYBOLD OPTICS CCS 系列提供适用于每种需求选配组件阵列。有两种不同的镜片支架，自动翻转镜片支架和适用于不同镜片直径的多种标准圆片，使其适用于广泛的应用。

经过验证的设计，可进行轻松维护所有 LEYBOLD OPTICS CCS 组件可轻松触及，因此维护简单。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。作为所有布勒莱宝光学设备的标准，每台设备都可通过远程软件工具访问，轻松地实现离站分析和检修活动。无数参数的大量数据录入助力客户始终获得镀膜机状况的新情况，并在需要时可共享信息。

LEYBOLD OPTICS CCS 平台的圆柱形镀膜腔室可促进轻松维护和保护屏障的快速拆卸清洗，这又可提供增加设备运行时间的优势。

罗茨泵工作原理

罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。2、另外也是由于真空泵油造成的真空度低的情况，就是真空泵油乳化变色，或者过脏。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。

但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然。当转子继续转动时，气体排出泵外。