Edwards 爱德华E2M40 真空泵应用：真空冶金加工

薄膜覆层技术

制药冷冻干燥

冷冻和空调系统抽空、干燥和回填

变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理工厂

灯具制造

低温容器抽空

化工行业中的真空干燥和蒸馏

半导体设备制造

用于高真空应用的前级泵

提供了各种附件，可满足您的应用需求

泵和附件可以作为单个部件提供，也可以作为完整系统化、经过出厂测试的组合提供。

涡旋无油真空泵的优点及其能给用户解决的问题：　

1 涡旋无油真空泵性能优越　

涡旋真空泵的主要优点是间隙小、泄漏少，具有较高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，工作压力范围宽；由于压缩腔容积的变化是连续的 ，因而驱动扭矩变化小，功率变化小，振动噪声低，可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。　　

2 涡旋无油真空泵解决了污染与振动等基础、共性问题

由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响 ， 如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油阀题。真空镀膜设备的镀膜工艺中，在20~ 40Pa 真空条件下镀膜时，如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染，影响成膜量。半导体晶片制造工艺当中使用油泵与使用干泵相比，成品率存在很大的差距，并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染。科学仪器行业尤其是在分析试仪器行业，真空泵厂家，采用油泵对测试结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采用涡旋无油真空泵作为前级真空泵的作用也相当明显。另外涡旋无油真空泵消除了普通油泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼。

真空泵电机温度过高的原因及解决方案：每年夏季，电机温度都会超限，真空泵，加装临时冷却风机，但收效不大。电机长期高温运行会造成绝缘老化，缩短其使用寿命。对真空泵电机温度高的原因分析如下。

1原因分析(1)电机功率大，工作电流大，发热量大。

(2)风扇转速低，风压，风量小。

(3)风扇叶片数较少，产生的风量小。

(4)电动机附有灰尘、油污，降低了散热能力。

(5)真空泵电机所在母线电压为380V，由于电缆压降及负荷分配不均，电机实际所加电压只有365V，电压偏低造成运行电流大。

2对策

电机功率、转速是和真空泵相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，旋片式真空泵，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加。

(1)将原风扇罩加长40cm，在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W，转速1489r/min，电压380V。原风扇继续保留。轴流风机另设一路电源控制，轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵厂商，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却；

(2)定期清除电机上灰尘，保持电机散热片清洁，增加其散热能力；

(3)将真空泵所在母线电压调整为400V。

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