LEYBOLD OPTICS CCS 系列（50 至 160 对/8 小时）视客户要求而定，可使用 LEYBOLD OPTICS CCS 系列镀膜机生产一或若干层（减反射层、防晒或镜面层以及滤光片）。其出色的生产能力得益于短抽真空时间以及准确的工序监控，这些尤为该平台的亮点。各种类型的 LEYBOLD OPTICS CCS 镀膜机证明了小尺寸和高生产力并非互为独占的。LEYBOLD OPTTIC CCS 系列包括生产解决方案，适用于中等产量的标准和离子辅助镀膜工艺。模块化设计，实现可持续发展的解决方案

电子枪容量、低温制冷系统的实施或腔室内疏水性镀膜功能相关的升级选件可在日后轻松添加至 LEYBOLD OPTICS CCS 的基本配置。因此，客户可随着其业务增长而选择扩建其系统。适用于广泛应用的灵活系统

LEYBOLD OPTICS CCS 系列提供适用于每种需求选配组件阵列。有两种不同的镜片支架，自动翻转镜片支架和适用于不同镜片直径的多种标准圆片，使其适用于广泛的应用。

经过验证的设计，螺杆真空泵厂商，可进行轻松维护所有 LEYBOLD OPTICS CCS 组件可轻松触及，因此维护简单。作为所有布勒莱宝光学设备的标准，每台设备都可通过远程软件工具访问，轻松地实现离站分析和检修活动。无数参数的大量数据录入助力客户始终获得镀膜机状况的新情况，并在需要时可共享信息。

LEYBOLD OPTICS CCS 平台的圆柱形镀膜腔室可促进轻松维护和保护屏障的快速拆卸清洗，这又可提供增加设备运行时间的优势。

国内外对于多级罗茨干泵的研究还停留在静态泄漏量的计算和实验上， 如俄罗斯A. Burmistrov 等利用角系数法建立了分子流态下罗茨泵复杂形状的泄漏通道流导系数的模型， 着重在泄漏量计算中考虑了有害空间内的气体返流。法国学者L. C.Valdes 等推导了通过非恒定矩形截面下过渡流的流导计算， 并结合Knudsen Dong 法则研究了非运转状态下通过气冷式罗茨干泵间隙的静态泄漏理论，螺杆真空泵厂家， 并通过静态实验进行了验证。国内一些学者则主要针对干泵型线和泄漏展开了理论和实验研究。

近年来， 受半导体制造、液晶注入、太阳能电池生产、电子器件等新兴行业和薄膜制备、化工、制药等传统行业的带动，惠州螺杆真空泵， 多级罗茨干泵作为核心装备之一， 其研制和生产越来越受到重视。多级罗茨干泵满足了IC 装备制造业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求， 是很有发展前景的一种干式真空泵。但是，螺杆真空泵生产商， 除了加工及装配要求精度高、加工难度大、一次性投入昂贵等制约因素外， 其设计理论和制造工艺亟待提高， 尤其包括罗茨型线的改善、加工成本的降低、间隙的确定、泄漏量的计算、泵内的热力学分析、转子表面涂层、噪声振动等难点问题， 制约了多级罗茨干泵研制和生产。

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