惠州市明胜机电设备有限公司
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明胜机电真空泵 水环真空泵厂家 肇庆水环真空泵

Edward爱德华EH1200罗茨泵维修保养 漏气,有点卡死

EH1200是德国Edward爱德华EH系列罗茨泵,这款泵是比较大的,罗茨泵不能单独使用,一般是可以搭配螺杆泵或者旋片泵使用。其他进口螺杆真空泵维修型号:EH250,EH500,EH1200, EH2600,EH4200

提供进口罗茨泵维修保养,维修品牌包括:莱宝、爱德华、Aerzen, Kaesser, Dresser, Hibon, Robuschi, RKR等进口品牌;罗茨泵维修提供莱宝WSU系列、WAU系列和爱德华EH系列等;

爱德华罗茨泵维修因为结构不一样,所以它和油封封E2M80的维修方法有点不一样,出现的故障也不一样。像罗茨泵一般会出现的问题是

1.发热、

2.卡死、

3.抽气量不足、

4.性能不稳定、

5.噪音大等故障;

温馨提示:如果爱德华EH1200罗茨泵漏气,有点卡死,记得致电专业的罗茨真空泵维修厂家,不可擅自处理,以免引起其他不良的故障反应。









气镇

双位气镇可处理 60 g/hr 水蒸汽,水环真空泵批发,或高于同类产品的 220 g/hr(在 RV12 上为 290 g/hr)水蒸汽。双位气镇与回油附件和油雾过滤器结合使用,可持续抽排而不减少润滑。安装可选购的电磁操作气镇阀后,气镇可自动工作。

电机

单个通用电机涵盖Zui广泛的电压与频率范围。单相电机具有外部开关,可从高压范围 (220-240 V) 调整为低压范围 (110-120 V)。通用三相电机还可用于所有机型,对于特殊应用,我们可提供装有 ATEX 认证防爆电机的泵。

入口

的防逆流保护

? 通过油压来稳定控制打开状态,从而消除压力波动

? 在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭

所有 Edwards RV 泵均配有入口密封件和集成式入口筛网过滤器

真空油

Edwards RV 泵Zui初装有 Ultragrade 19 号油。这一优质油品通过一系列独特添加剂专门调配,可提供高于任何其他矿物油的真空性能。正因如此,它既能提供受到极严格控制的蒸汽压力,又具有极强的抗氧化能力,可实现较长的使用寿命。对于富氧应用,我们还提供备有 PFPE 的泵。对于备有PFPE 的泵,必须单独购买 Fomblin?。

为轻松维护而设计

? 统一尺寸的六角头扳手可拆卸所有零件

? 所有零件均可自对准,因此无需支托或特殊组件

? 不带弹簧或销的聚合物刀片更便于装配,可靠性更高

? 可在电机侧更换轴封而无需拆卸泵机构

? 切片间没有 O 型圈,水环真空泵厂,更易于装配

? 所有零件均可互换,因此可单独订购

模式开关

独特的模式选择器开关专利技术可使一台泵适于多种用途,因此您只需一种机型即可用于高抽气量和高真空应用。

在高抽气量模式中,选择器开关会将油流量增加到高真空阶段,从而使泵在高入口压力下持续运行,而不会有任何磨损或润滑减少。


半导体加工我们继续革新技术解决方案,这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平,惠州水环真空泵,同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本,努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM,以及全球每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统,因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统,用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷(即晶圆的图案形成)是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境,但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。

EUV 平版印刷泵送解决方案

多重图案形成技术有其存在的价值, 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷,因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能,真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要,它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统,可为您进行的大型投资提供 可靠性。

电子束平版印刷解决方案

电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积,不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。


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